Huawei brevète des outils de lithographie EUV utilisés pour fabriquer des puces

Huawei Brevète Des Outils De Lithographie Euv Utilisés Pour Fabriquer

En contexte : Les machines de lithographie sont parmi les plus complexes et les plus coûteuses utilisées dans la fabrication de puces. Ils génèrent des faisceaux de lumière stables dans le spectre ultraviolet et filtrent cette lumière jusqu’à ce qu’elle ressemble à l’inverse du plan d’étage d’un microprocesseur. Ils focalisent et pointent la lumière sur une plaquette photosensible avec un degré de précision de l’ordre de quelques dizaines de nanomètres pour découper le plan d’étage.

Huawei a breveté un composant utilisé dans les systèmes de lithographie EUV qui est nécessaire pour fabriquer des processeurs haut de gamme sur des nœuds inférieurs à 10 nm. Il résout le problème des motifs d’interférence créés par la lumière ultraviolette qui, autrement, rendraient la plaquette inégale.

Huawei a résolu un problème dans la dernière étape de la fabrication des puces qui est causé par les minuscules longueurs d’onde de la lumière ultraviolette extrême (EUV). Son brevet décrit un réseau de miroirs qui divisent le faisceau de lumière en plusieurs sous-faisceaux qui entrent en collision avec leurs propres miroirs microscopiques. Chacun de ces miroirs tourne différemment pour créer différents motifs d’interférence dans la lumière de sorte que lorsqu’ils se recombinent, les motifs d’interférence s’annulent pour créer un faisceau uniforme.

Huawei brevete des outils de lithographie EUV utilises pour fabriquer

Les systèmes de lithographie EUV sont actuellement fabriqués exclusivement par la société néerlandaise ASML. La lithographie EUV repose sur les mêmes principes que les anciennes formes de lithographie, mais utilise une lumière d’une longueur d’onde d’environ 13,5 nm, qui est presque un rayon X. L’ASML génère la lumière ultraviolette à partir de gouttelettes d’étain fondu en mouvement rapide d’environ 25 microns de diamètre.

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« Lorsqu’elles tombent », explique ASML, « les gouttelettes sont d’abord frappées par une impulsion laser de faible intensité qui les aplatit en forme de crêpe. Ensuite, une impulsion laser plus puissante vaporise la gouttelette aplatie pour créer un plasma qui émet de la lumière EUV. Pour produire suffisamment de lumière pour fabriquer des micropuces, ce processus est répété 50 000 fois par seconde. »

Huawei brevete des outils de lithographie EUV utilises pour fabriquer

ASML a eu besoin de plus de 6 milliards d’euros et de 17 ans pour développer le premier lot de machines de lithographie EUV pouvant être vendues. Mais avant qu’ils ne soient terminés, le gouvernement américain a fait pression sur le gouvernement néerlandais pour qu’il interdise les exportations vers la Chine, limitant le pays à l’ancienne technologie DUV (ultraviolet profond). Pour l’instant, seules cinq entreprises utilisent ou ont annoncé leur intention d’utiliser des systèmes de lithographie ASML EUV : Intel et Micron aux États-Unis, Samsung et SK Hynix en Corée du Sud et TSMC à Taïwan.

Les entreprises chinoises comme Huawei pouvaient auparavant envoyer leurs conceptions à des fabs comme TSMC pour la fabrication avec la lithographie EUV. Mais depuis que les États-Unis ont imposé des sanctions à la Chine, cela est de moins en moins possible. Huawei a besoin d’accéder aux nœuds avancés qui utilisent la lithographie EUV pour continuer à améliorer ses processeurs personnalisés, qui ciblent tout, des smartphones aux centres de données. Il lui reste encore beaucoup de chemin à parcourir avant de pouvoir créer ses propres systèmes EUV, mais ils reçoivent beaucoup de capitaux et de support du gouvernement pour y arriver.